7月28日，2022“創(chuàng)客廣東”東莞市中小企業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽決賽，在松山湖光大We谷落下帷幕。
本屆大賽以“創(chuàng)客廣東 匠心莞品”為主題，是由廣東省工業(yè)和信息化廳、廣東省財政廳共同著力打造的“雙創(chuàng)”品牌大賽。
本屆大賽共352個項目報名，晟鼎精密攜“新一代微波等離子半導體去膠解決方案--國內首家自由微波發(fā)生器技術”項目，從352個項目中突出重圍進入決賽，并斬獲2022“創(chuàng)客廣東”東莞市中小企業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽企業(yè)組優(yōu)勝獎。
晟鼎精密的“新一代微波等離子半導體去膠解決方案--國內首家自由微波發(fā)生器技術”項目，主要是應用于半導體中的IC制程及封測環(huán)節(jié)的等離子除膠、刻蝕設備。
該設備采用晟鼎自主研發(fā)微波等離子發(fā)生器，搭配射頻偏壓技術，無放電電極，高效均勻，可徹底清除芯片表面的殘留物，保證刻蝕效率，從而顯著改善芯片的可制造性、可靠性以及良品率。
目前微波等離子清洗技術的優(yōu)勢，已經被各行各業(yè)高度重視，并得到了廣泛的認可。晟鼎的微波等離子系列產品，完全符合行業(yè)標準，我們可快速響應客戶需求，全面滿足不同工藝需要，并且價格僅是進口品牌的三分之二。
晟鼎“新一代微波等離子半導體去膠解決方案--國內首家自由微波發(fā)生器技術”項目，在技術實力、競爭模式等方面，均獲得現場評委的一致認可，榮獲企業(yè)組優(yōu)勝獎。
晟鼎經過多年持續(xù)的研發(fā)投入和技術積累，先后研發(fā)出微波等離子清洗機、在線片式微波等離子清洗機、離線式微波plasma去膠機等設備，可用于半導體行業(yè)的封裝段工藝，以及用于晶圓制造工藝段中等離子活化、除膠、刻蝕。